| 出典: アライナ（アライナー）【英語名】 aligner 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/ 解説 アライナ(アライナー)とは、水銀ランプやエキシマレーザなどから放射される紫外線等を用いて、マスク（レチクル）の微細なパターンをワーク（試料）に転写・焼付する露光装置のこと。 露光方式には、接触露光のコンタクト露光（ハードコンタクト、ソフトコンタクト）、非接触露光のプロキシミティ露光やプロジェクション露光（レンズプロジェクション露光、ミラープロジェクション露光）などがある。 １）プロキシミティ露光は、マスク（レチクル）とワーク（試料）の間隔が数μm～数十μm程度と非常に狭いことから、接触露光のコンタクト露光に含めて分類することもある。 ・・・ |
| 同義語・類義語 | 関連語・その他 |
|---|---|
| aligner | align |
| əláinə | əláin |
| アゥラゥイナゥァ | アゥラゥイン |
| アラゥ́イナゥァ | アゥラゥ́イン |
| アライナー | アライン |
| アラ́イナー | アラ́イン |
| アライナ | [他動詞] |
| アラ́イナ | ～を一直線にする |
| [名詞] | ～を調整する |
| 露光装置 | ～をちょうせいする |
| ろこう そうち | [自動詞] |
| 照準器 | 調整する |
| しょうじゅんき | 整列する |
| 更新日:2024年 4月12日 |