出典: MEMS 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2021年7月31日 (土) 01:29 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ MEMS(メムス、Micro Electro Mechanical Systems)は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があるが、このようなハイブリッドの場合もMEMSという。 ・・・ |
出典: マイクロマシン 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2013年3月14日 (木) 11:37 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。必ずしもMEMS=マイクロマシンではない。特に小型ロボット(マイクロロボット)やSF的なものもマイクロマシンと称する場合があるが、このような従来の機械加工で製作された機械はMEMSと呼ばない場合がある。 [マイクロマシン作製技術] 英語ではmicromachiningという。おもに半導体集積回路作製技術+マイクロマシン特有の作製技術を指す。 ・・・ |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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JICST On-line Information System | JST |
dʒéi ái síː és tíː ɑn láin ìnfərméiʃən sístəm | Japan Science and Technology Agency |
ジェイ アイ シィー エス ティー オァン ラゥイン インフォァメイシュン シィステム | dʒəpǽn sáiəns ənd teknɑ́lədʒi éidʒənsi |
ジェイ アイ シィー エス ティー・オァン・ラゥイン・インフォァメイシュン・シィステム | ジャゥパェン サイアゥンツ アェンドゥ テクナラゥジィー エイジェンシィー |
ジェイ アイ シー エス ティー オンライン インフォメーション システム | ジャゥパェン・サイアゥンツ・アェンドゥ・テクナラゥジィー・エイジェンシィー |
ジェイ アイ シー エス ティー・オンライン・インフォメーション・システム | ジャパン サイエンス アンド テクノロジー エージェンシー |
JOIS | ジャパン・サイエンス・アンド・テクノロジー・エージェンシー |
ジョイス | 科学技術振興機構 |
科学技術情報データベース | ・ |
・ | Retrieval |
JDream | ritríːvəl |
JST Document Retrieval System for Academic and Medical Fields | リトゥリーヴォルゥ |
dʒéi és tíː dɑ́kjumənt ritríːvəl sístəm fər æ̀kədɛ́mik ənd médikəl fíːldz | リトリーバル |
ジェイ エス ティー ドァッキュメントゥ リトゥリーヴォルゥ シィステム フォァ アェカゥデミック アェンドゥ メディコルゥ フィールゥズ | [名詞] |
ジェイ エス ティー・ドァッキュメントゥ・リトゥリーヴォルゥ・シィステム・フォァ・アェカゥデミック・アェンドゥ・メディコルゥ・フィールゥズ | 情報検索 |
ジェイ エス ティー ドキュメント リトリーバル システム フォー アカデミック アンド メディカル フィールズ | 回復 |
ジェイ エス ティー・ドキュメント・リトリーバル・システム・フォー・アカデミック・アンド・メディカル・フィールズ | ・ |
JDream II | Medical |
JDream III | médikəl |
・ | メディコルゥ |
メディカル | |
[形容詞] | |
医療の | |
医学の | |
・ | |
Agency | |
éidʒənsi | |
エイジェンシィー | |
エ́イジェンシィー | |
【 以下関連語 】 | エージェンシー |
JICST | エ́ージェンシー |
Japan Information Center of Science and Technology | [名詞] |
dʒəpǽn ìnfərméiʃən séntər əv sáiəns ənd teknɑ́lədʒi | 機関 |
ジャゥパェン インフォァメイシュン センタゥー オァヴ サイアゥンツ アェンドゥ テクナラゥジィー | 政府機関 |
ジャゥパェン・インフォァメイシュン・センタゥー・オァヴ・サイアゥンツ・アェンドゥ・テクナラゥジィー | 機構 |
ジャパン インフォメーション センター オブ サイエンス アンド テクノロジー | 局 |
ジャパン・インフォメーション・センター・オブ・サイエンス・アンド・テクノロジー | 特約店 |
日本科学技術情報センター | 代理店 |
ジクスト | |
・ | |
更新日:2024年 3月20日 |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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MEMS | ジャイロセンサー |
メムス | 加速度センサー |
Micro Electro Mechanical System | 科学技術振興機構 |
Micro Electro Mechanical Systems | 吉田ナノ機構プロジェクト |
Micro-Electro-Mechanical Systems | 新技術開発事業団 |
máikrou iléktrou məkǽnikəl sístəmz | 創造科学推進プロジェクト |
マイクロウ エィレゥクトゥロウ メィキャェニカゥルゥ シィステムズ | |
マイクロウ・エィレゥクトゥロウ・メィキャェニカゥルゥ・シィステムズ | |
マ́イクロウ・エィレゥ́クトゥロウ・メィキャェ́ニカゥルゥ・シィ́ステムズ | |
マイクロ エレクトロ メカニカル システムス | |
マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムス | |
マ́イクロ・エレ́クトロ・メカ́ニカル・シ́ステムズ | |
微小電気機械システム | |
びしょう でんき きかい システム | |
bisyou denki kikai sisutemu | |
微小電気機械素子 | |
微小電気機器システム | |
びしょう でんき きき システム | |
bisyou denki kiki sisutemu | |
微小電子機器システム | |
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micromachine | |
超小型機械 | |
Micro machine technology | |
マイクロマシン技術 | |
Microsystem Technology | |
マイクロマシン | |
micromachining | |
マイクロマシン作製技術 | |
更新日:2023年 6月23日 |