出典: 加速度センサー 『通信用語の基礎知識』 更新年月日 2012/12/11,URL: https://www.wdic.org/ 加速度を検知するセンサーで、慣性センサーの一つ。 [概要] 加速度を検出する方法は幾つかあり、様々なものが開発されている。 一般的なものとしては、機械式、光学式、半導体式(MEMS)の3種類に分類することができる。 機械式や光学式は、精密な測定が可能ではあるが、大型化しやすい。そういったものは小型の機器に搭載できないので、昨今の流行は小型化可能な半導体式である。 [特徴] 3軸加速度センサーは、変位を検知する方法により、いくつかの種類に分類できる。民生機器向けに開発されている3軸加速度センサーの殆どは、加速度検知機構を半導体プロセスで作るMEMS(Micro Electro Mechanical System)センサーである。MEMS加速度センサーは、その検知機構の違いにより、ピエゾ抵抗型、静電容量型、熱感知型の3種類に分けられる。例えば、登場時点で世界最小パッケージとされたBOSCH Sensortec製のBMA250Eの場合は、静電容量型である。この製品は、インターフェイスにはI²Cを採用している。 |
出典: MEMS 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2021年7月31日 (土) 01:29 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ MEMS(メムス、Micro Electro Mechanical Systems)は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があるが、このようなハイブリッドの場合もMEMSという。 ・・・ |
出典: 加速度計 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年5月14日 (日) 17:27 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ 加速度計(かそくどけい)は、物体の加速度を計測する機器である。小型の加速度計(加速度センサ)はMEMS技術を用いて作製される。MEMSの加速度センサの場合、質量が小さいため感度は低下するが劇的な小型化が可能になるため、自動車のエアバッグやカーナビゲーションの傾斜計、ゲームのコントローラなどに使われている。精度は測定軸を基準に仕様されるため、軸の方向を筐体の固定面(およびその加工精度)で確定しないと加速度センサが提唱する精度に意味がなくなり、特にプリント基板上に加速度センサが実装されただけの状態では計測用途に適用し難い。 [原理] 機械的変位測定方式 もっとも一般的な計測原理は、ばね(コイルばねや板ばね)がつながった錘(マス、質量)の、加速度が加わったときの位置変化を捉えることである。 質量m の錘に加速度a が加わったとき、錘に働く力F は F = ma と表せる。・・・ 振動を用いる方式 錘をつけたばねを共振周波数で振動させる。錘に加速度が加わるとばねに加わる応力が変化するためばねの共振周波数が変化する。これはギターの弦を張ったり緩めたりすると音が変わるのと同じ原理である。この周波数の変化を検出することで加速度を検出する。 ・・・ 光学的方式 光学式の加速度センサにはいくつかの形式があり、加速度によって生じる位置の変化を光学的に伝達する目的や検出・増幅するために使用され、光センサによって最終的には電気信号に変換する。 ・・・ 半導体方式 機械式や光学式の加速度センサでは製造・調整・補修に手間がかかりコストを押し上げ、小型化や知能化にも向かないため、近年の多様な装置に使用される加速度センサには半導体式の採用が多くなっている。いずれもMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を使ったものである。 静電容量型 梁構造で支えられた微小な可動部でのわずかな位置変化を静電容量の変化として検出し、電気回路によって増幅・計測する。静電容量を検出する櫛の歯型の構造を荒い箇所と細かな箇所の2種類を作ることで、検出精度を上げている。 ピエゾ抵抗型 シリコン半導体の製造技術によって、表面を円環状に薄く作りダイヤフラムを形成する。中央の錘をこの薄い金属で支えることで加速度による変位を検出しやすく する。ダイヤフラムの位置変化をピエゾ抵抗素子によって検出し、電気回路によって増幅・計測する。 ガス温度分布型 空洞部中央で暖められ、軽くなったガスが加速度によって移動するのを、周囲の温度計測抵抗ブリッジの抵抗変化で検出し、電気回路によって増幅・計測する。 |
出典: マイクロマシン 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2013年3月14日 (木) 11:37 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。必ずしもMEMS=マイクロマシンではない。特に小型ロボット(マイクロロボット)やSF的なものもマイクロマシンと称する場合があるが、このような従来の機械加工で製作された機械はMEMSと呼ばない場合がある。 [マイクロマシン作製技術] 英語ではmicromachiningという。おもに半導体集積回路作製技術+マイクロマシン特有の作製技術を指す。 ・・・ |
出典: センサ 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2021年3月18日 (木) 18:07 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ センサまたはセンサー(英: sensor)は、自然現象や人工物の機械的・電磁気的・熱的・音響的・化学的性質あるいはそれらで示される空間情報・時間情報を、何らかの科学的原理を応用して、人間や機械が扱い易い別媒体の信号に置き換える装置のことをいい、センサを利用した計測・判別を行うことを「センシング」という。検知器(英: detector)とも呼ばれる。 [定義] センサはトランスデューサーの一種と言えるが、明確な定義はされていない。センサという言葉は、トランスデューサーのみを指す場合もあれば、トランスデューサーに増幅・演算・制御・出力等の機能を合わせた装置を指す場合もある。 |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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accelerometer | 速度変化率 |
æksèlərɑ́mətər | 加速度センサ |
エゥクセラゥロマゥダゥァー | 加速度センサー |
エゥクセ̀ラゥロ́マゥダゥァー | ・ |
アクセラロメター | acceleration |
アクセ̀ラロ́メター | iksélərèiʃən |
アクセラメーター | エゥクセラゥレイシュン |
加速度計 | エゥクセ́ラゥレ̀イシュン |
かそくどけい | アクセラレーション |
アクセ́ラレ̀ーション | |
[名詞] | |
加速 | |
かそく | |
加速すること | |
加速度 | |
かそくど | |
促進 | |
高速化 | |
・ | |
更新日:2024年 4月12日 |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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MEMS | ジャイロセンサー |
メムス | 加速度センサー |
Micro Electro Mechanical System | 科学技術振興機構 |
Micro Electro Mechanical Systems | 吉田ナノ機構プロジェクト |
Micro-Electro-Mechanical Systems | 新技術開発事業団 |
máikrou iléktrou məkǽnikəl sístəmz | 創造科学推進プロジェクト |
マイクロウ エィレゥクトゥロウ メィキャェニカゥルゥ シィステムズ | |
マイクロウ・エィレゥクトゥロウ・メィキャェニカゥルゥ・シィステムズ | |
マ́イクロウ・エィレゥ́クトゥロウ・メィキャェ́ニカゥルゥ・シィ́ステムズ | |
マイクロ エレクトロ メカニカル システムス | |
マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムス | |
マ́イクロ・エレ́クトロ・メカ́ニカル・シ́ステムズ | |
微小電気機械システム | |
びしょう でんき きかい システム | |
bisyou denki kikai sisutemu | |
微小電気機械素子 | |
微小電気機器システム | |
びしょう でんき きき システム | |
bisyou denki kiki sisutemu | |
微小電子機器システム | |
・ | |
micromachine | |
超小型機械 | |
Micro machine technology | |
マイクロマシン技術 | |
Microsystem Technology | |
マイクロマシン | |
micromachining | |
マイクロマシン作製技術 | |
更新日:2023年 6月23日 |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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sensor | ジャイロ・センサー |
sénsər | イメージ・センサー |
センサゥァー | ・ |
セ́ンサゥァー | |
センサー | |
セ́ンサー | |
検出器 | |
けんしゅつき | |
感知器 | |
かんちき | |
感知装置 | |
かんち そうち | 【 以下関連語 】 |
探知器 | |
たんちき | |
・ | |
detector | |
ditéktər | |
ディテクタゥァー | |
ディテ́クタゥァー | |
デテクター | |
デテ́クター | |
検出器 | |
けんしゅつき | |
検波器 | |
けんぱき | |
探知器 | |
たんちき | |
検知器 | |
けんちき | |
検電器 | |
けんでんき | |
・ | |
光センサー | |
圧力センサー | |
温度センサー | |
湿度センサー | |
速度センサー | |
加速度センサー | |
ガス・センサー | |
磁気センサー | |
更新日:2024年 3月27日 |