| 出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ ステッパー（英語: stepper）とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動（ステップ）しながら投影露光する。 ・・・ |
| 同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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| lithography | |
| stepper | |
| ステッパー | |
| フォトリソグラフィ | |
| フォトリソグラフィ装置 | |
| リソグラフィ | |
| リソグラフィー | |
| 液浸ステッパー | |
| 縮小投影型露光装置 | |
| 半導体露光装置 | |
| 露光装置 | |
| ろこう そうち | |
| rokou souchi | |
| 更新日:2023年 6月27日 |