| 出典: i線 【英語名】 i-line 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/ 解説 ｉ 線とは、波長365nmの水銀のスペクトル線のこと。 水銀は多くのスペクトル線を持つが、紫外域・可視域・近赤外域における強いスペクトル線として、253.652nm、296.728nm、312.566nm、365.015nm、404.656nm、407.781nm、434.750nm、435.835nm、546.074nm、576.959nm、579.065nm、690.716nm、1013.98nmがある。このうち、紫外域の波長365.015nm≒365nmのスペクトル線を i 線と言い、この波長を利用したステップアンドリピート（step and repeat）方式の露光装置を i 線ステッパなどと言う。 →スペクトル線を参照。 |
| 同義語・類義語 | 関連語・その他 |
|---|---|
| i線 | スペクトル線 |
| i-line | 365nm |
| ái láin | |
| アイ ラゥイン | |
| アイ・ラゥイン | |
| ア́イ・ラゥ́イン | |
| アイ ライン | |
| アイ・ライン | |
| ア́イ・ラ́イン | |
| アイせん | |
| aisen | |
| 更新日:2023年 7月 1日 |