ICT用語の意味と同義語
【 「aligner」又はそれに関連する用語の意味 】
| 出典: アライナ（アライナー）【英語名】 aligner 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/<br><br>解説<br> アライナ(アライナー)とは、水銀ランプやエキシマレーザなどから放射される紫外線等を用いて、マスク（レチクル）の微細なパターンをワーク（試料）に転写・焼付する露光装置のこと。<br> 露光方式には、接触露光のコンタクト露光（ハードコンタクト、ソフトコンタクト）、非接触露光のプロキシミティ露光やプロジェクション露光（レンズプロジェクション露光、ミラープロジェクション露光）などがある。<br> １）プロキシミティ露光は、マスク（レチクル）とワーク（試料）の間隔が数μm～数十μm程度と非常に狭いことから、接触露光のコンタクト露光に含めて分類することもある。 ・・・ |
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アライナ（アライナー） (ウシオ電機株式会社)
【 aligner の同義語と関連語 】
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| 同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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| aligner | |
| əláinə | |
| アラゥイナゥァ | |
| アライナー | |
| アライナ | |
| [名詞] | |
| 露光装置 | |
| 照準器 | |
| 更新日:2022年 9月14日 |
