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ICT用語の意味と同義語

【 「aligner」又はそれに関連する用語の意味 】
出典: アライナ(アライナー)【英語名】 aligner 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/<br><br>解説<br> アライナ(アライナー)とは、水銀ランプやエキシマレーザなどから放射される紫外線等を用いて、マスク(レチクル)の微細なパターンをワーク(試料)に転写・焼付する露光装置のこと。<br> 露光方式には、接触露光のコンタクト露光(ハードコンタクト、ソフトコンタクト)、非接触露光のプロキシミティ露光やプロジェクション露光(レンズプロジェクション露光、ミラープロジェクション露光)などがある。<br> 1)プロキシミティ露光は、マスク(レチクル)とワーク(試料)の間隔が数μm~数十μm程度と非常に狭いことから、接触露光のコンタクト露光に含めて分類することもある。 ・・・



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アライナ(アライナー) (ウシオ電機株式会社)



【 aligner の同義語と関連語 】
< 1 >
同義語・類義語 関連語・その他
aligner
əláinə
アラゥイナゥァ
アライナー
アライナ
[名詞]
露光装置
照準器

































































更新日:2022年 9月14日




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