ICT用語の意味と同義語
【 「lithography」又はそれに関連する用語の意味 】
出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/
ステッパー(英語: stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。 ・・・ |
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同義語・類義語 |
関連語・その他 |
lithography |
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stepper |
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ステッパー |
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フォトリソグラフィ |
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フォトリソグラフィ装置 |
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リソグラフィ |
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リソグラフィー |
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液浸ステッパー |
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縮小投影型露光装置 |
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半導体露光装置 |
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露光装置 |
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ろこう そうち |
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rokou souchi |
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更新日:2023年 6月27日 |