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 IT用語同義語辞典

 

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用語解説【micromachine】
出典: マイクロマシン 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2013年3月14日 (木) 11:37 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。必ずしもMEMS=マイクロマシンではない。特に小型ロボット(マイクロロボット)やSF的なものもマイクロマシンと称する場合があるが、このような従来の機械加工で製作された機械はMEMSと呼ばない場合がある。

[マイクロマシン作製技術] 英語ではmicromachiningという。おもに半導体集積回路作製技術+マイクロマシン特有の作製技術を指す。 ・・・

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IT用語同義語・関連語【micromachine】
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MEMS Micro Electro Mechanical System Micro Electro Mechanical Systems Micro machine technology
Micro-Electro-Mechanical Systems micromachine micromachining Microsystem Technology
ジャイロセンサー マイクロ・エレクトロ・メキャニカル・システムス マイクロマシン マイクロマシン技術
マイクロマシン作製技術 メムス 加速度センサー 科学技術振興機構
吉田ナノ機構プロジェクト 新技術開発事業団 創造科学推進プロジェクト 微小電気機械システム
微小電気機械素子 微小電気機器システム 微小電子機器システム



































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