ICT用語の意味と同義語
【 「微小電気機械システム」又はそれに関連する用語の意味 】
| 出典: MEMS 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2021年7月31日 (土) 01:29 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ MEMS（メムス、Micro Electro Mechanical Systems）は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があるが、このようなハイブリッドの場合もMEMSという。 ・・・ |
| 出典: マイクロマシン 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2013年3月14日 (木) 11:37 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。必ずしもMEMS=マイクロマシンではない。特に小型ロボット（マイクロロボット）やSF的なものもマイクロマシンと称する場合があるが、このような従来の機械加工で製作された機械はMEMSと呼ばない場合がある。 [マイクロマシン作製技術] 英語ではmicromachiningという。おもに半導体集積回路作製技術＋マイクロマシン特有の作製技術を指す。 ・・・ |
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MEMS (Wikipedia)
マイクロマシン (Wikipedia)
【 微小電気機械システム の同義語と関連語 】
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| 同義語・類義語 | 関連語・その他 |
|---|---|
| MEMS | ジャイロセンサー |
| メムス | 加速度センサー |
| Micro Electro Mechanical System | 科学技術振興機構 |
| Micro Electro Mechanical Systems | 吉田ナノ機構プロジェクト |
| Micro-Electro-Mechanical Systems | 新技術開発事業団 |
| máikrou iléktrou məkǽnikəl sístəmz | 創造科学推進プロジェクト |
| マイクロウ エィレゥクトゥロウ メィキャェニカゥルゥ シィステムズ | |
| マイクロウ・エィレゥクトゥロウ・メィキャェニカゥルゥ・シィステムズ | |
| マ́イクロウ・エィレゥ́クトゥロウ・メィキャェ́ニカゥルゥ・シィ́ステムズ | |
| マイクロ エレクトロ メカニカル システムス | |
| マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムス | |
| マ́イクロ・エレ́クトロ・メカ́ニカル・シ́ステムズ | |
| 微小電気機械システム | |
| びしょう でんき きかい システム | |
| bisyou denki kikai sisutemu | |
| 微小電気機械素子 | |
| 微小電気機器システム | |
| びしょう でんき きき システム | |
| bisyou denki kiki sisutemu | |
| 微小電子機器システム | |
| ・ | |
| micromachine | |
| 超小型機械 | |
| Micro machine technology | |
| マイクロマシン技術 | |
| Microsystem Technology | |
| マイクロマシン | |
| micromachining | |
| マイクロマシン作製技術 | |
| 更新日:2023年 6月23日 |
