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 IT用語同義語辞典

 

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用語解説【フォトリソグラフィ】
出典: フォトレジスト 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2019年6月10日 (月) 10:54 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

フォトレジスト(英語:photoresist)とは、フォトリソグラフィにおいて使用される、光や電子線等によって溶解性などの物性が変化する組成物である。物質の表面に塗布され、後に続くエッチングなどの処理から物質表面を保護することから、「レジスト」 (resist) の名がある。しかしながら、現在では、感光性を有し、画像様露光・現像によりパターニングを行って表面に画像層を形成することができる物質であればフォトレジストと呼ばれ、必ずしも保護の働きがあるとは限らない。 ・・・
出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

ステッパー(英語: stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。 ・・・
出典: レジスト 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2019年7月1日 (月) 03:29 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

レジストとは、主に工業用途で使用される、物理的、化学的処理に対する保護膜、及びその形成に使用される物質である。諸般の製造過程で、サンドブラスト、イオン注入、エッチングなどの処理を施す際、被処理物表面の一部を樹脂などで保護し、処理をしたあとに保護膜を剥離することで、被処理物の所望の部分のみを処理することができる。この手法に使われる保護膜をレジストという。処理に耐える (resist) 事からこの名がついた。

[フォトレジスト(パターニング方法による分類)] 感光性を持ち、フォトリソグラフィ工程で使用されるレジスト。大量生産される製品に使用されるレジストは、ほとんどがフォトレジストである。一般的な使用方法としては、スピンコーターやスリットコーター等で薄膜状に塗布し、光や電子線を部分的に照射して溶解性を変化させ、その後現像によって不要な部分を除去する。製版、プリント基板、半導体ウェハーなどの製造に使用される。 ・・・

[スクリーン印刷レジスト(塗布・パターニング方法による分類)] スクリーン印刷を用いてパターニングされるレジスト。露光・現像・リンスといった工程を経るフォトリソグラフィに比して、直接必要な部分にのみ樹脂を印刷するため、比較的無駄が少なくまた大面積にも対応し易い。

[エッチングレジスト(用途による分類)] ・・・

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フォトレジスト (Wikipedia)
レジスト (Wikipedia)

IT用語同義語・関連語【フォトリソグラフィ】
< 1 >
lithography stepper ステッパー フォトリソグラフィ
フォトリソグラフィ装置 リソグラフィ リソグラフィー ろこうそうち
液浸ステッパー 縮小投影型露光装置 半導体露光装置 露光装置














































IT用語同義語・関連語【フォトリソグラフィ】
< 2 >
アライメントフリー印刷法 Alignment free process アライメントゥ・フリー・プロセス アライメントフリー印刷製法
アライメントフリー製法 有機TFT印刷法





















Alignment アライメント アライメントゥ フォトリソグラフィ
自己組織化現象 調整 有機トランジスタ製法 有機薄膜トランジスタ






















IT用語同義語・関連語【フォトリソグラフィ】
< 3 >
レジスト photoresist resist rɪzíst
エッチングレジスト スクリーン印刷レジスト フォトレジスト リゼストゥ




















JSR フォトリソグラフィ 感光材 住友化学
東京応化工業 富士フィルム
























【 IT用語同義語辞典索引 】
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