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ICT用語の意味と同義語

【 「メムス」又はそれに関連する用語の意味 】
出典: MEMS 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2021年7月31日 (土) 01:29 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

 MEMS(メムス、Micro Electro Mechanical Systems)は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があるが、このようなハイブリッドの場合もMEMSという。 ・・・
出典: マイクロマシン 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2013年3月14日 (木) 11:37 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

マイクロマシンとは、超小型機械のこと。大きさの定義はまちまちであるが、mmオーダーからμmオーダーの機械構造をいう。一般に動くものをいうが、流路などデバイス自体が動かないものも含まれる。 世界的にはMEMS(Micro Electro Mechanical System)と言われるが、日本やヨーロッパでは、マイクロマシンということが多い。必ずしもMEMS=マイクロマシンではない。特に小型ロボット(マイクロロボット)やSF的なものもマイクロマシンと称する場合があるが、このような従来の機械加工で製作された機械はMEMSと呼ばない場合がある。

[マイクロマシン作製技術] 英語ではmicromachiningという。おもに半導体集積回路作製技術+マイクロマシン特有の作製技術を指す。 ・・・

カスペルスキー セキュリティ


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MEMS (Wikipedia)
マイクロマシン (Wikipedia)



【 メムス の同義語と関連語 】
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MEMS メムス Micro Electro Mechanical System Micro Electro Mechanical Systems
Micro-Electro-Mechanical Systems máikrou iléktrou məkǽnikəl sístəmz マイクロウ エレゥクトゥロウ メィキャェニカゥルゥ シィステムス マイクロウ・エレゥクトゥロウ・メィキャェニカゥルゥ・シィステムス
マイクロ エレクトロ メキャニカル システムス マイクロ・エレクトロ・メキャニカル・システムス 微小電気機械システム 微小電気機械素子
微小電気機器システム 微小電子機器システム Micro machine technology
micromachine マイクロマシン micromachining Microsystem Technology
マイクロマシン技術 マイクロマシン作製技術 超小型機械




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新技術開発事業団 創造科学推進プロジェクト




















更新日:2021年 8月23日




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