ICT用語の意味と同義語
【 「露光装置」又はそれに関連する用語の意味 】
| 出典: アライナ（アライナー）【英語名】 aligner 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/ 解説 アライナ(アライナー)とは、水銀ランプやエキシマレーザなどから放射される紫外線等を用いて、マスク（レチクル）の微細なパターンをワーク（試料）に転写・焼付する露光装置のこと。 露光方式には、接触露光のコンタクト露光（ハードコンタクト、ソフトコンタクト）、非接触露光のプロキシミティ露光やプロジェクション露光（レンズプロジェクション露光、ミラープロジェクション露光）などがある。 １）プロキシミティ露光は、マスク（レチクル）とワーク（試料）の間隔が数μm～数十μm程度と非常に狭いことから、接触露光のコンタクト露光に含めて分類することもある。 ・・・ |
| 出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ ステッパー（英語: stepper）とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動（ステップ）しながら投影露光する。 ・・・ |
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アライナ（アライナー） (ウシオ電機株式会社)
【 露光装置 の同義語と関連語 】
< 1 >
| 同義語・類義語 | 関連語・その他 |
|---|---|
| aligner | align |
| əláinə | əláin |
| アゥラゥイナゥァ | アゥラゥイン |
| アラゥ́イナゥァ | アゥラゥ́イン |
| アライナー | アライン |
| アラ́イナー | アラ́イン |
| アライナ | [他動詞] |
| アラ́イナ | ～を一直線にする |
| [名詞] | ～を調整する |
| 露光装置 | ～をちょうせいする |
| ろこう そうち | -wo cyouseisuru |
| rokou souchi | [自動詞] |
| 照準器 | 調整する |
| しょうじゅんき | 整列する |
| syoujyunki | |
| 更新日:2023年11月11日 |
【 露光装置 の同義語と関連語 】
< 2 >
| 同義語・類義語 | 関連語・その他 |
|---|---|
| lithography | |
| stepper | |
| ステッパー | |
| フォトリソグラフィ | |
| フォトリソグラフィ装置 | |
| リソグラフィ | |
| リソグラフィー | |
| 液浸ステッパー | |
| 縮小投影型露光装置 | |
| 半導体露光装置 | |
| 露光装置 | |
| ろこう そうち | |
| rokou souchi | |
| このページは書きかけのページです | 更新日:2023年 6月27日 |