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ICT用語の意味と同義語


【 露光装置 の意味 】
出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

ステッパー(英語: stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。 ・・・

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【 露光装置 の同義語と関連語 】
< 1 >
lithography stepper ステッパー フォトリソグラフィ
フォトリソグラフィ装置 リソグラフィ リソグラフィー ろこうそうち
液浸ステッパー 縮小投影型露光装置 半導体露光装置 露光装置















































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