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ICT用語の意味と同義語

【 「露光装置」又はそれに関連する用語の意味 】
出典: アライナ(アライナー)【英語名】 aligner 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/

解説
 アライナ(アライナー)とは、水銀ランプやエキシマレーザなどから放射される紫外線等を用いて、マスク(レチクル)の微細なパターンをワーク(試料)に転写・焼付する露光装置のこと。
 露光方式には、接触露光のコンタクト露光(ハードコンタクト、ソフトコンタクト)、非接触露光のプロキシミティ露光やプロジェクション露光(レンズプロジェクション露光、ミラープロジェクション露光)などがある。
 1)プロキシミティ露光は、マスク(レチクル)とワーク(試料)の間隔が数μm~数十μm程度と非常に狭いことから、接触露光のコンタクト露光に含めて分類することもある。 ・・・
出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/

ステッパー(英語: stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。 ・・・



【 他のICT用語辞典へ(外部リンク)】

アライナ(アライナー) (ウシオ電機株式会社)



【 露光装置 の同義語と関連語 】
< 1 >
同義語・類義語 関連語・その他
aligner align
əláinə əláin
アゥラゥイナゥァ アゥラゥイン
アラゥ́イナゥァ アゥラゥ́イン
アライナー アライン
アラ́イナー アラ́イン
アライナ [他動詞]
アラ́イナ ~を一直線にする
[名詞] ~を調整する
露光装置 ~をちょうせいする
ろこう そうち [自動詞]
照準器 調整する
しょうじゅんき 整列する























































更新日:2024年 4月12日




【 露光装置 の同義語と関連語 】
< 2 >
同義語・類義語 関連語・その他
lithography
stepper
ステッパー
フォトリソグラフィ
フォトリソグラフィ装置
リソグラフィ
リソグラフィー
液浸ステッパー
縮小投影型露光装置
半導体露光装置
露光装置
ろこう そうち
rokou souchi






















































このページは書きかけのページです 更新日:2023年 6月27日




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