出典: アライナ(アライナー)【英語名】 aligner 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/ 解説 アライナ(アライナー)とは、水銀ランプやエキシマレーザなどから放射される紫外線等を用いて、マスク(レチクル)の微細なパターンをワーク(試料)に転写・焼付する露光装置のこと。 露光方式には、接触露光のコンタクト露光(ハードコンタクト、ソフトコンタクト)、非接触露光のプロキシミティ露光やプロジェクション露光(レンズプロジェクション露光、ミラープロジェクション露光)などがある。 1)プロキシミティ露光は、マスク(レチクル)とワーク(試料)の間隔が数μm~数十μm程度と非常に狭いことから、接触露光のコンタクト露光に含めて分類することもある。 ・・・ |
出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ ステッパー(英語: stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。 ・・・ |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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aligner | align |
əláinə | əláin |
アゥラゥイナゥァ | アゥラゥイン |
アラゥ́イナゥァ | アゥラゥ́イン |
アライナー | アライン |
アラ́イナー | アラ́イン |
アライナ | [他動詞] |
アラ́イナ | ~を一直線にする |
[名詞] | ~を調整する |
露光装置 | ~をちょうせいする |
ろこう そうち | [自動詞] |
照準器 | 調整する |
しょうじゅんき | 整列する |
更新日:2024年 4月12日 |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
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lithography | |
stepper | |
ステッパー | |
フォトリソグラフィ | |
フォトリソグラフィ装置 | |
リソグラフィ | |
リソグラフィー | |
液浸ステッパー | |
縮小投影型露光装置 | |
半導体露光装置 | |
露光装置 | |
ろこう そうち | |
rokou souchi | |
このページは書きかけのページです | 更新日:2023年 6月27日 |